P95硅片清洗劑 （Puratron - 95）  工藝編號：13095

簡介：

P 95 硅片清洗劑配合超聲波，專門應用于硅片表面（EGSW）在切鋸，研磨及其他化學機械加工處理之后的垂直浸泡清洗。本品還可作為堿蝕的添加劑。

特性：

-          微堿性清洗劑。

-          高效，能溶解和去除鋸齒泥漿。

-          分散能力非常好，能把已去除的微粒保存在溶液中，不會再次沉積到工

   件上。

-          吸收油污量大，槽液使用壽命長。

-          對硅片溫和微蝕，如有需要可用氫氧化鈉調整微蝕速率。添加P 95至氫氧根堿性溶液可降低蝕率的因數為10-20。因此，P95特別適合用于在生產過程中需要使用堿性去除表面物質（如：塑料復膜）的工藝。

-          適合用于所有硬質表面，亦適用于半導體物料如GnAs。

-          配合超聲波或超音波來大批量處理，效果非常出色。

-          P 95 所含的表面活性劑對強堿和高溫非常穩(wěn)定。

-          P 95 適用于有純度要求，每批Puratron -67的 鋁、銅、鉻、鐵、鎳、鋅的濃度都經量度和證實，這些金屬雜質的范圍在0.3-2.0 ppm （視金屬而定）。

操作：

P 95 用于垂直工藝生產線，配合超聲波使用。

   濃度                5-8%

   溫度                40-60℃

    可添加1-3% P95 至堿性微蝕溶液以改善堿性微蝕。

環(huán)境保護：

P 95 的主要物質是生物降解類，符合歐盟指引（648/2000）。

溶液廢棄須根據使用者當地法規(guī)處理。

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V1.0TC20120416

                                                              本說明書為中文譯本，只供參考，應以英文版為準。本說明書上所有建議，是根據信賴的實驗室資料編成，由于不同的生產設備及工藝條件，可能會造成效果的差異，本公司并不承擔任何責任。本說明書的所有內容不能作為侵犯版權的證據。